Tasgadh
Faigh tuigse agus luathaich am pròiseas leasachaidh.
Bidh Advanced Energy a’ lìbhrigeadh fuasglaidhean solarachaidh is smachd cumhachd airson tagraidhean tasgadh film tana èiginneach agus geoimeatraidhean innealan. Gus dùbhlain giullachd wafer fhuasgladh, leigidh na fuasglaidhean tionndaidh cumhachd mionaideach againn leat cruinneas cumhachd, mionaideachd, astar agus ath-aithris pròiseas a bharrachadh.
Bidh sinn a’ tabhann raon farsaing de thriceadan RF, siostaman cumhachd DC, ìrean toraidh cumhachd gnàthaichte, teicneòlasan maidseadh, agus fuasglaidhean sgrùdaidh teòthachd snàithleach optaigeach a leigeas leat smachd nas fheàrr a chumail air plasma a’ phròiseis. Bidh sinn cuideachd a’ toirt a-steach Fast DAQ™ agus an t-sreath togail dàta is ruigsinneachd againn gus lèirsinn a thoirt seachad air a’ phròiseas agus gus am pròiseas leasachaidh a luathachadh.
Ionnsaich tuilleadh mu na pròiseasan saothrachaidh leth-chonnsachaidh againn gus am fuasgladh a lorg a fhreagras air na feumalachdan agad.
An Dùbhlan agad
Bho fhilmichean a thathas a’ cleachdadh gus tomhasan cuairteachaidh amalaichte a phàtranachadh gu filmichean giùlain is inslitheach (structaran dealain), gu filmichean meatailt (eadar-cheangal), feumaidh smachd aig ìre atamach a bhith aig na pròiseasan tasgaidh agad - chan ann a-mhàin airson gach feart ach air feadh an wafer gu lèir.
A bharrachd air an structar fhèin, feumaidh na filmichean a tha air an tasgadh a bhith àrd-inbhe. Feumaidh an structar gràin, an aonfhoirmeachd agus an tighead co-chòrdail a tha thu ag iarraidh a bhith aca, agus a bhith saor bho bheàrnan - agus tha sin a bharrachd air na cuideaman meacanaigeach (teannachaidh agus teannachaidh) agus feartan dealain a tha a dhìth a thoirt seachad.
Chan eil an iom-fhillteachd ach a’ sìor fhàs. Gus dèiligeadh ri cuingealachaidhean litografaidh (nodan fo-1X nm), feumaidh dòighean pàtrainidh dùbailte is ceithir-fhillte fèin-ailinichte do phròiseas tasgaidh am pàtran a thoirt gu buil agus ath-riochdachadh air gach wafer.
Ar Fuasgladh
Nuair a bhios tu a’ cleachdadh nan tagraidhean tasgaidh agus geoimeatraidh innealan as cudromaiche, feumaidh tu stiùiriche margaidh earbsach.
Leigidh teicneòlas lìbhrigidh cumhachd RF agus maidseadh àrd-astar Advanced Energy leat cruinneas, mionaideachd, astar agus ath-aithris pròiseas a tha a dhìth airson a h-uile pròiseas tasgaidh adhartach PECVD agus PEALD a ghnàthachadh agus a bharrachadh.
Cleachd ar teicneòlas gineadair DC gus freagairt arc rèiteachaidh, cruinneas cumhachd, astar, agus ath-aithris pròiseas a tha a dhìth airson pròiseasan PVD (sputtering) agus tasgadh ECD a mhìneachadh.
Buannachdan
● Bidh seasmhachd plasma nas fheàrr agus ath-aithris pròiseas a’ meudachadh toradh
● Bidh lìbhrigeadh RF agus DC mionaideach le làn smachd didseatach a’ cuideachadh le bhith a’ leasachadh èifeachdas pròiseas
● Freagairt luath do atharrachaidhean plasma agus riaghladh arc
● Bidh cuisleadh ioma-ìre le gleusadh tricead atharrachail a’ leasachadh roghnachd ìre gràbhaladh
● Taic chruinneil ri fhaighinn gus dèanamh cinnteach à ùine-obrach agus coileanadh toraidh as àirde